产品描述
该产品由膜厚仪主机、上位机 PC 软件、光纤组成。用一束准单色平行光照射多层薄膜， 光波会在第 1 到 n 层之间来回多次折射、反射进而形成多个相干光束。这些相干光束进行相 干叠加后，携带多层薄膜的相干信号并沿原路返回。不同波长的准单色光照射薄膜后，携带 的干涉信号不一样。如果用一束含有多种波长的准单色光照射薄膜后，提取各个波段的干涉 信号，通过 OCD 自主知识产权的算法进行反演计算，便可获得每一层薄膜材料的光学参数 （厚度、折射率、消光系数）。
该产品可以升级为真空镀膜在线沉积的薄膜监控。在多层薄膜制备过程中，用上述方法 进行实时在线监测，便可以获得从薄膜开始生长到 1 层，再生长到 n 层的过程中所有的光学 大数据。在过程中进行计算分析进而输出各层薄膜的停镀点。同时保留生产过程中的大数据， 进行更好的品质把控，提升产品可追溯性。
